車載6軸慣性センサ(6in1センサ)

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車載分野向けの機能安全(ISO26262)に対応、車載システムの安全性に貢献
1チップMEMS構造による高い6軸直交性により車載システムの高性能化と設計自由度向上に貢献
車載システムの統合化、車載ECUの小型化に貢献

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特長

車載用6軸慣性センサ(6in1センサ)は、車に加わる3軸(前後・左右・上下)の加速度、同3軸の角速度、計6軸の慣性力を検出することで、ADAS(先進運転支援システム)や自動運転など各システムの高精度化に貢献します。
3軸の加速度、同3軸の角速度、計6軸の慣性力の図

特長① 車載分野向けの機能安全(ISO26262)に対応、車載システムの安全性に貢献

  • ASIL-Dの機能安全開発に対応可能

お客様のシステムの安全の許容度(ASIL:Automotive Safety Integrity Level)に応じたISO26262への規格遵守、必要なドキュメントの提示による論証構築のサポート、ならびに、車載用途向けセンサの品質保証をいたします。

Functional safety development img 機能安全開発全体像の図

特長② 1チップMEMS構造による高い6軸直交性により、車載システムの高性能化と設計自由度向上に貢献

  • 軸間直交性: 角速度、加速度間 ≦0.01°

従来の車載用の慣性センサでは、角速度と加速度の素子が複数のチップで構成されている為、角速度と加速度の軸ずれにより、出力精度に影響を及ぼすという課題がありました。
本製品は、角速度と加速度の全6軸を、同一平面上に、各軸独立に配置した1チップ検出素子を採用することにより、6軸が直交した状態で、設置姿勢によらず、慣性力を高精度に検出することを可能にしました。

従来慣性センサ チップ構成イメージ
角速度センサ
角速度センサ Gyro sensor
軸間直交性
≦1.7°
yellow-double arrow
加速度センサ
加速度センサ Acceleration sensor

blue-downarrow

6in1センサ チップ構成イメージ
角速度センサ Gyro sensor

軸間直交性
≦0.01°
 
 

特長③ 車載システムの統合化、車載ECUの小型化に貢献

  • 6軸1パッケージ:4.5 x 4.5 x 1.1 mm

本製品は静電MEMS技術を採用し、キャップとMEMS素子とASICをウエハレベルパッケージングで一体化することで、小型低背の6軸慣性センサを実現しました。これにより、車載システムの統合化や車載ECUの小型化に貢献します。

( 断 面 図 )
樹脂パッケージ(Mold)
樹脂パッケージ(Mold) Plastic package(Mold)
Au ワイヤー
リードフレーム

特長④ ディンプル加工により、実装品質の向上に貢献

ディンプル加工によって、リード端子の側面に目視可能なハンダフィレットを形成できます。これにより、フィレットの目視検査で、端子が正常に基板のランド部にハンダ付けがされているか確認することができます。

ディンプル加工イメージ

ディンプル加工イメージ Dimple processing
ディンプル加工イメージ 拡大 Dimple processing Expansion
ディンプル

実装出来栄えイメージ

一般的なQFNパッケージ
一般的なQFNパッケージ General QFN package
blue-downarrow
ディンブルQFNパッケージ
ディンブルQFNパッケージDimple QFN package
*上から見た写真
上から見た写真 *Photo seen from aboves

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定格

●基本特性
項目 仕様
寸 法 (mm) 4.5x4.5x1.1
使用温度範囲 -40 ℃ ~ +125 ℃
保存温度範囲 -40 ℃ ~ +125 ℃
電源電圧範囲 3.3 ± 0.3 V
消費電流 ≦ 10 mA
出力形式 SPI
角速度 検出軸 X、Y、Z軸
0点出力誤差 ≦ ± 2.0 dps
感度出力誤差 ≦ ± 3.0 %
検出範囲 ±300, ±150, ± 120, ±60,
±30 dps 指定可能
周波数応答性
(-3dB)
10, 12.5, 27, 30, 46, 60 Hz
指定可能
他軸感度 ≦ ± 1.7 %
出力ノイズ ≦ 0.1 dps rms
(応答性 60 Hz 設定時)
軸間直交性 ≦0.01°
加速度 検出軸 X、Y、Z軸
0点出力誤差 ≦ ± 0.05 G (X, Y)
≦ ± 0.084 G (Z)
感度出力誤差 ≦ ± 3.0 %
検出範囲 ±16, ±8, ±2, ±1 G
周波数応答性
(-3dB)
10, 46, 60, 250, 300, 400 Hz
指定可能
他軸感度 ≦ ± 1.7 %
出力ノイズ ≦ 0.004 G rms
(応答性 60 Hz 設定時)
軸間直交性 ≦0.01°
※Az高性能品開発中
Az高性能品仕様 (予定)
≦ ± 0.05 mG (X、Y、Z)
●環境特性 (AEC-Q100準拠)
項目 仕様
高温高湿バイアス(THB) 85 ℃ / 85 %RH / 3.6 V / 1000 h
高温放置(HTSL) 150 ℃ / 1000 h
高温作動(HTOL) 125 ℃ / 3.6 V / 1000 h
温度サイクル(TC) -55 ℃ ~ 150 ℃ /
1000 cycles
耐衝撃(MS) 1500 G / 0.5 ms / 各方向5回
耐振動(VFV) 50 G / 20 Hz ~ 2 kHz / 各方向4回
 
Az高性能品仕様 (予定)

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