車載6軸慣性センサ(6in1センサ)

拡大

車載分野向けの機能安全(ISO26262)に対応、車載システムの安全性に貢献

１チップMEMS構造による高い6軸直交性により車載システムの高性能化と設計自由度向上に貢献

車載システムの統合化、車載ECUの小型化に貢献

特長

車載用6軸慣性センサ(6in1センサ)は、車に加わる3軸（前後・左右・上下）の加速度、同3軸の角速度、計６軸の慣性力を検出することで、ADAS（先進運転支援システム）や自動運転など各システムの高精度化に貢献します。

特長① 車載分野向けの機能安全(ISO26262)に対応、車載システムの安全性に貢献

ASIL-Dの機能安全開発に対応可能

お客様のシステムの安全の許容度(ASIL:Automotive Safety Integrity Level)に応じたISO26262への規格遵守、必要なドキュメントの提示による論証構築のサポート、ならびに、車載用途向けセンサの品質保証をいたします。

Functional safety development img 機能安全開発全体像の図

特長② １チップMEMS構造による高い6軸直交性により、車載システムの高性能化と設計自由度向上に貢献

軸間直交性：角速度、加速度間 ≦0.01°

従来の車載用の慣性センサでは、角速度と加速度の素子が複数のチップで構成されている為、角速度と加速度の軸ずれにより、出力精度に影響を及ぼすという課題がありました。
本製品は、角速度と加速度の全6軸を、同一平面上に、各軸独立に配置した1チップ検出素子を採用することにより、６軸が直交した状態で、設置姿勢によらず、慣性力を高精度に検出することを可能にしました。

従来慣性センサチップ構成イメージ

blue-downarrow

6in1センサチップ構成イメージ

軸間直交性
≦0.01°

特長③ 車載システムの統合化、車載ECUの小型化に貢献

6軸１パッケージ：4.5 x 4.5 x 1.1 mm

本製品は静電MEMS技術を採用し、キャップとMEMS素子とASICをウエハレベルパッケージングで一体化することで、小型低背の6軸慣性センサを実現しました。これにより、車載システムの統合化や車載ECUの小型化に貢献します。

樹脂パッケージ(Mold) Plastic package(Mold) — ( 断面図 )

特長④ ディンプル加工により、実装品質の向上に貢献

ディンプル加工によって、リード端子の側面に目視可能なハンダフィレットを形成できます。これにより、フィレットの目視検査で、端子が正常に基板のランド部にハンダ付けがされているか確認することができます。

ディンプル加工イメージ

実装出来栄えイメージ

一般的なQFNパッケージ General QFN package — 一般的なQFNパッケージ

ディンブルQFNパッケージDimple QFN package — ディンブルQFNパッケージ

上から見た写真 *Photo seen from aboves — ディンブルQFNパッケージ

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定格

●基本特性

項目		EWTS5G
寸法 (mm)		4.5ｘ4.5ｘ1.1
使用温度範囲		-40 ℃ ～ +125 ℃
保存温度範囲		-40 ℃ ～ +125 ℃
電源電圧範囲		3.3 ± 0.3 V
消費電流		≦ 10 mA
出力形式		SPI
角速度	検出軸	X、Y、Z軸
	０点出力誤差	≦ ± 2.0 dps
	感度出力誤差	≦ ± 3.0 %
	検出範囲	±300, ±150, ± 120, ±60, ±30 dps 指定可能
	周波数応答性 (-3dB)	10, 12.5, 27, 30, 46, 60 Hz 指定可能
	他軸感度	≦ ± 1.7 %
	出力ﾉｲｽﾞ	≦ 0.1 dps rms (応答性 60 Hz 設定時)
	軸間直交性	≦0.01°
加速度	検出軸	X、Y、Z軸
	０点出力誤差	≦ ± 0.05 G (X, Y) ≦ ± 0.084 G (Z)
	感度出力誤差	≦ ± 3.0 %
	検出範囲	±16, ±8, ±2, ±1 G
	周波数応答性 (-3dB)	10, 46, 60, 250, 300, 400 Hz 指定可能
	他軸感度	≦ ± 1.7 %
	出力ﾉｲｽﾞ	≦ 0.004 G rms (応答性 60 Hz 設定時)
	軸間直交性	≦0.01°

EWTS5G-HP
4.5ｘ4.5ｘ1.1
-40 ℃ ～ +125 ℃
-40 ℃ ～ +125 ℃
3.3 ± 0.3 V
≦ 10 mA
SPI
X、Y、Z軸
≦ ± 2.0 dps
≦ ± 2.0 %
±300, ±150, ± 120, ±60, ±30 dps 指定可能
10, 12.5, 27, 30, 46, 60 Hz 指定可能
≦ ± 1.7 %
≦ 0.004 G rms (応答性 60 Hz 設定時)
≦0.01°
X、Y、Z軸
≦ ± 0.05 G (X、Y、Z)
≦ ± 2.0 %
±16, ±8, ±2, ±1 G
10, 46, 60, 250, 300, 400 Hz 指定可能
≦ ± 1.7 %
≦ 0.004 G rms (応答性 60 Hz 設定時)
≦0.01°

●環境特性 (AEC-Q100準拠)

項目		EWTS5G
高温高湿バイアス(THB)		85 ℃ / 85 ％RH / 3.6 V / 1000 h
高温放置(HTSL)		150 ℃ / 1000 h
高温作動(HTOL)		125 ℃ / 3.6 V / 1000 h
温度サイクル(TC)		-55 ℃ ～ 150 ℃ / 1000 cycles
耐衝撃(MS)		1500 G / 0.5 ms / 各方向5回
耐振動(VFV)		50 G / 20 Hz ～ 2 kHz / 各方向4回

EWTS5G-HP
85 ℃ / 85 ％RH / 3.6 V / 1000 h
150 ℃ / 1000 h
125 ℃ / 3.6 V / 1000 h
-55 ℃ ～ 150 ℃ / 1000 cycles
1500 G / 0.5 ms / 各方向5回
50 G / 20 Hz ～ 2 kHz / 各方向4回

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