光学デバイス向け : 超高精度三次元測定機

 
仕様
スタンダード機
機種名 UA3P-300 UA3P-4 UA3P-5
外観
外形寸法(W×D×H)mm 700×780×1500 1000×1100×1400 200×1350×1550
本体質量 700kg(その他:150kg) 1200kg(その他:150kg) 1500kg(その他:150kg)
測定範囲(X,Y,Z軸)mm 30×30×20 100×100×35 200×200×45
測定物設置エリア(X,Y,Z軸)mm 100×100×110 220×220×115 330×330×230
測定プローブ AFP AFP AFP
分解能 0.3nm
上面測定最大傾斜角度 75° 60° 60°
側面測定角度
上面プローブによる測定精度
※標準ルビースタイラス、あるいは
 セラミックスタイラス使用時
30°以下:±0.05μm(往復)
45°以下:±0.08μm(往復)
60°以下:±0.15μm(往復)
70°以下:±0.15μm(下り)
0°以下:±0.05μm(往復)
45°以下:±0.10μm(往復)
60°以下:±0.30μm(往復)
座標軸による測定精度
(XY軸測定精度)
100mm以下:0.05μm(再現精度0.05μm以内)
200mm以下:0.1μm(再現精度0.05μm以内)
測定速度 0.005~5mm/sec 0.01~10mm/sec
使用環境 温度 20~23℃(変動±1℃以下)
湿度 20~60%(空調の風が直接本体に当たらないこと)
振動 許容値2.0cm/s2(=2.0gal)推奨値0.5cm/s2
所用動力源 電源設備 AC100V±5%/15A
空気圧源 0.5Mpa~1.0Mpa流量150NL/min
標準付属品 標準ルビースタイラス、標準ダイヤスタイラス、AFP(300/1個、4・5/2個)、校正用基準球、プリンター
 
大型機
機種名 UA3P-500H / 550H UA3P-650H UA3P-700H
外観
外形寸法(W×D×H)mm 1200×1350×1550 2100×1820×2110 2100×1820×2110
本体質量 2300kg(その他:300kg) 8500kg(その他:300kg) 9000kg(その他:300kg)
測定範囲(X,Y,Z軸)mm 200×200×45 /
200×200×45、260×90×45
400×400×120/φ500×120 500×500×120
測定物設置エリア(X,Y,Z軸)mm 330×330×230 600×600×330 600×600×330
測定プローブ AFP※2 AFP※2 AFP※2
分解能 0.3nm
上面測定最大傾斜角度 75° 75° 75°
側面測定角度
上面プローブによる測定精度
※標準ルビースタイラス、あるいは
 セラミックスタイラス使用時
30°以下:±0.05μm(往復)
45°以下:±0.08μm(往復)
60°以下:±0.10μm(往復)
70°以下:±0.15μm(下り)
座標軸による測定精度
(XY軸測定精度)
100mm以下:0.05μm(再現精度0.05μm以内)/200mm以下:0.1μm(再現精度0.05μm以内)
400mm以下:0.2μm(再現精度0.05μm以内)/500mm以下:0.3μm(再現精度0.05μm以内)
測定速度 0.01~20mm/sec 0.01~30mm/sec
使用環境 温度 20~23℃(変動±1℃以下)
湿度 20~60%(空調の風が直接本体に当たらないこと)
振動 許容値2.0cm/s2(=2.0gal)推奨値0.5cm/s2
所用動力源 電源設備 AC100V±5%/15A
空気圧源 0.5Mpa~1.0Mpa流量250NL/min 0.5Mpa~1.0Mpa流量420NL/min
標準付属品 セラミックスタイラス(2個)、標準ダイヤスタイラス(2個)、AFP(2個)、校正用基準球、プリンター
         
大型機 Twinプローブ
(上面・側面測定機)
高精度機  
機種名 UA3P-400T UA3P-3000  
外観  
外形寸法(W×D×H)mm 1100×1230×1540 1260×840×1510  
本体質量 750kg 950kg  
測定範囲(X,Y,Z軸)mm 100×100×35 30×30×20  
測定物設置エリア(X,Y,Z軸)mm 200×200×110 100×100×110  
測定プローブ AFP/S-AFP AFP※3  
分解能 0.3nm  
上面測定最大傾斜角度 75° 75°  
側面測定角度 水平:45~90°
垂直:80~90°
 
上面プローブによる測定精度
※標準ルビースタイラス、あるいは
 セラミックスタイラス使用時
30°以下:±0.05μm(往復)
45°以下:±0.08μm(往復)
60°以下:±0.15μm(往復)
70°以下:±0.15μm(下り)
30°以下:±0.05μm(往復)
45°以下:±0.06μm(往復)
60°以下:±0.07μm(往復)
70°以下:±0.10μm(往復)
 
座標軸による測定精度
(XY軸測定精度)
100mm以下:0.05μm(再現精度0.05μm以内)  
測定速度 0.01~10mm/sec 0.005~5mm/sec  
使用環境 温度 20~23℃(変動±1℃以下)  
湿度 20~60%(空調の風が直接本体に当たらないこと)  
振動 許容値2.0cm/s2(=2.0gal)
推奨値0.5cm/s2
許容値1.0cm/s2(=1.0gal)
推奨値0.5cm/s2
 
所用動力源 電源設備 AC100V±5%/15A  
空気圧源 0.5Mpa~1.0Mpa流量150NL/min  
標準付属品 標準ルビースタイラス、
標準ダイヤスタイラス、
φ2mmルビースタイラス
AFP、S-AFP(各1個)
校正用基準球、プリンター
セラミックスタイラス、
標準ダイヤスタイラス
AFP(1個)
校正用基準球、プリンター
 
TOP 上面測定機に関する説明 SIDE 側面測定機に関する説明
※2 UA3P高精度機専用プローブ
※3 UA3P-3000専用プローブ
※4 ・本製品は“外国為替及び外国貿易法“で定められた規制貨物に該当の製品(又は技術)です。
・該当製品(または技術)を輸出する場合は又は国外に持ち出す場合は、事前に日本国政府の輸出許可が必要ですので、必ずご連絡ください。