APX300 : プラズマダイサー

APX300
特長

ダメージフリーなダイシングが可能
薄型のウエハーや機械強度の低い構造を持つウエハーをブレードダイシングする場合、チッピングやクラックが発生し、歩留まりの低下の要因となっていました。
APX300では、従来の機械加工を用いず、フッ素系プラズマエッチングによって、シリコンウエハーをダメージフリーでダイシング可能としました。
プラズマダイシングは、チッピングも無く、ダイシング幅もブレードダイシングの3分の1程度まで低減可能で、チップサイズによってはチップの取り数を増やせます。
プラズマダイシングは、ウエハー全面のダイシングラインを一括で分割できるため、小さいチップサイズのウエハーを高速にダイシング可能です。

様々なウエハーサポート形態に対応
APX300は、バックグラインディング用保護テープ付きウエハー、ダイシングフレーム付きウエハー、ガラスサポート基板付きウエハーなどへのプラズマ処理が可能です。

仕様
機種名 APX300 ダイサーモジュール(注2)
品番 NM-EFE4AA-D
プラズマ源 ICPプラズマ
プロセスガス 標準4系統(Max.6系統まで増設可:フッ素系ガス、Ar、O2、He等)
処理対象ウエハ ※1 標準ø200 mm、またはø300 mm(リングフレーム付き)
設備寸法(mm)※2 W 1 350 × D 2 230 × H 2 000(シングルチャンバーシステム(オプション搬送ユニット連結仕様))※3
質量 2 330 kg(装置構成により異なります)
電源 ※4 三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10V、50 /60 Hz 、21.0 kVA
空圧源 0.5 MPa 〜 0.7 MPa、250 L/min(A.N.R.)
N2 0.1 MPa 〜 0.2 MPa、50 L/min(A.N.R.)
※1 : その他のサイズのウエハにつきましては当社へご相談ください。
※2 : タッチパネル、操作パネル、シグナルタワー、配管等の突起物は含みません。ドライポンプ、チラー等の周辺機器は含みません。
※3 : 搬送ユニット(オプション)は、専用カセットでの真空ロードロック供給仕様となります。
※4 : 三相電源は2系統あり、その合計を表しています。ドライポンプ、チラー等の周辺機器は含みません。
(注1)弊社指定の搬送機器との連結が必要です。 弊社営業までお問合せ下さい。
(注2)詳細は、仕様書を参照願います。