オプション (機械部品向け)

 
UA3P-400L

超微小なスタイラス径

超微細スタイラスにより、これまで測定困難だったサンプルにも対応

φ30μmスタイラス [SEM拡大図]

スタイラスランナップ

スタイラス
先端直径
スタイラス
長さ
先端球
材質
標準 φ2mm 11mm ルビー
φ1mm
φ300μm 2mm
φ200μm
φ80μm 500μm 超硬
φ30μm 500μm

※スタイラスはご要望に応じてカスタマイズ可能です

 

オプション機能

オプション機能により、複雑な測定を強力にサポート

水平面タッチ測定

プローブの交換により水平面についてもポイント測定可能

カメラ機能

カメラにより高精度位置決めサポート

顕微鏡

微細な測定も顕微鏡により目視確認サポート

 

主なオプション

●上面タッチ測定機能:水平面への上面タッチ測定により水平基準面定義
●カメラ観察機能:微細物へのアプローチ容易化
●幾何形状評価ソフト:直角度評価、同軸度評価、平行度・厚み評価
●各種スタイラス:先端φ2mm、φ1mm、φ300μm、φ200μm、φ80μm、φ30μm
●3Dパス設定ソフト:測定対象の3D-CADモデルより測定パス自動生成