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デバイス関連システム

べアチップを基板やリードフレームに実装する装置
プラズマ状態の粒子を活用し分子レベルで表面を研磨する装置
 
ウェハをダイジングするプラズマエッチング装置
 
電極パッドにバンプが形成されたベアチップを 表裏反転させて実装する装置
 
 
半導体や電子デバイスの回路の微細加工
     

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