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高生産性を実現
デュアルレーン/デュアルヘッド採用により基板搬送時のヘッド待機時間をなくし、高生産性を実現します。
570 ml (20oz.)シリンジ仕様（DSオプション）の場合は、定粘度維持システムを内蔵している材料供給部があり、高精度を維持し、同時に材料交換の停止時間も削減できます。 |
2種類の塗布ヘッドで広範囲の材料塗布に対応
高粘度のシーラントから低粘度のアンダーフィル剤まで、最適な塗布ヘッドを選択でき、広範囲の材料塗布に対応できます。
ロボットの等速CP制御により、直線から曲線まで広範囲の高精度描画形状パターンに対応できます。 |
自動補正による安定した塗布の実現
ハイトセンサーによるノズル〜基板距離の自動補正で、常に安定した描画形状が得られます。
ウエイトモニタリングシステムにより、塗布質量を自動補正。高精度で安定した塗布を実現します。（オプション） |
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| 機種名 |
IPAC-DS |
IPAC-DU |
| 品番 ※1 |
NM-EJM4C、NM-MH20 |
NM-EJM5C、NM-MH30 |
| キャリアー寸法（mm） ※2 |
L 220 × W 29 〜 L 323 × W 146 |
| 用途 |
シーラントの塗布 |
アンダーフィルの塗布 |
| ポンプ構造 |
オーガーポンプ |
リニアーポンプ |
| 材料供給（標準） |
170 ml（6oz.）シリンジ仕様 |
| 電源 |
三相 AC 200 / 208/ 380 / 415 / 480 V、1.5 kVA |
三相 AC 200 / 208/ 380 / 415 / 480 V、最大 5.5kVA ※4 |
| 空圧源 |
0.49 MPa、 60 L/min（A.N.R.） |
| 設備寸法（mm）※3 |
W 980 × D 1 660 × H 1 650 |
| 質量 |
1 750 kg（本体のみ） |
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※1:IPAC-DSは、安全規格としてCEマーク対応（品番 NM-EJM4C）又は、SEMI規格対応（品番 NM-MH20）のいずれかを、ご選択頂きます。IPAC-DUは、安全規格としてCEマーク対応（品番 NM-EJM5C）又は、SEMI規格対応（品番 NM-MH30）のいずれかを、ご選択頂きます。
※2：キャリアーによる基板搬送を標準としております。描画範囲が L 200 mm以上の場合は、左右ヘッドに振り分けて下さい。
※3：操作盤、シグナルタワーを除く
※4：基板加熱ステージ：オプション使用時
※詳細は『仕様説明書』を参照願います。 |
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