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| 生産変動への柔軟な対応と、半導体混載工程への優れた適応性 生産量の変動に対して、コンパクトな設備寸法の特長を生かして、増産・減産時の移設が容易です。 半導体工程で一般的に使用されているキャリアーに標準対応しています。 |
| コンパクトなボディで高面積生産性を実現 高速18ノズルヘッドの採用により、微小チップの更なる高速装着を実現しました。 (IPAC-CS タイプB) 980 mm幅に2ヘッド2ステージ構成で高面積生産性を実現します。 モーター駆動方式テープフィーダー ※,テープつなぎ治具採用で長時間連続稼動が可能です。 デュアルレーン/デュアルヘッド採用により基板搬送時のヘッド待機時間をなくし、実生産性を約30%アップ。 (シングルレーン比) ※モーター式は、IPAC-CSタイプBを除く。 |
| 高精度・高品質装着を実現 CMOS素子のカメラを備えた2Dセンサーで、高精度装着を実現します。 リニアースケールによるフルクローズド・ループ・サーボ制御をXY駆動に採用し、高精度位置決めを実現します。 |
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