本体外形寸法 [mm]^※1
（WxDxH)

700 x 780 x 1500

1000 x 1100 x 1400

1200 x 1345 x 1550

質量

本体：700kg（その他：150kg）

本体：1200kg（その他：150kg）

本体：1500kg（その他：150kg）

測定範囲[X,Y,Z軸]

30 x 30 x 20mm

100 x 100 x 35mm

200 x 200 x 45mm

測定物設置エリアサイズ

100 x 100 x 110mm [X,Y,Z軸]

220 x 220 x 115mm [X,Y,Z軸]

330 x 330 x 230mm [X,Y,Z軸]

プローブ

原子間力プローブ
・ルビー：先端曲率半径　0.5mm
・ダイヤ：先端曲率半径　2μm
測定力：0.15〜0.3mN (15〜30mgf)

測定最大角度

75度

60度

プローブによる測定精度

●標準ルビー：
（測定面傾き角）

30度以下：	0.01〜0.05μm（往復）
45度以下：	〜0.08μm（往復）
60度以下：	〜0.15μm（往復）
70度以下：	〜0.15μm（下り）

●標準ダイヤ：
（測定面傾き角）
30度以下：〜0.1μm^※2

●標準ルビー：
（測定面傾き角）

30度以下：	0.01〜0.05μm（往復）
45度以下：	〜0.1μm（往復）
60度以下：	〜0.3μm（往復）

●標準ダイヤ：
（測定面傾き角）
30度以下：〜0.1μm^※2

座標軸による測定誤差
(XY軸測定範囲)

100mm以下：0.05μm以内（再現精度0.05μm以内）
200mm以下：0.1μm以内（再現精度0.05μm以内）

測定速度

0.005〜5mm／s　
多段階可変設定

0.01〜10mm／s　多段階可変設定

NC自動作成、オートアライメント（プローブ半径補正含む）、データ編集、
オートセンタリング、測定中モニタリング、3次元カラーグラフ、リサージュ波形表示機能

使用環境

温度

20〜23℃の恒温室（変動は±1℃以下）

湿度

20〜60%（空調の風が直接本体に当らない事）

振動

推奨値0.5cm/s²　許容値2.0cm/s²(=2.0gal)

クリーン度

推奨値Class 15,000（個/ft³）程度以下（パーティクルサイズ0.5μm）

電源設備

AC100V±5%/15Aを一系統、コンセント：3P×1個（独立専用電源とする）

エア配管

エア圧0.5MPa（=5kgf/cm²）以上、1.0MPa （=10kgf/cm²）以下で流量150NL/分^※3のドライエアー１系統（手動バルブ付）外径基準φ8mmチューブを差し込める事

作業台

コンピュータ、キーボード等、計50kg以上が設置できる事

UPS

出力電圧、常時給電、正弦波AC100V、出力容量1400VA/940W出力コンセント形状　並行2極グランド付コンセント（NEMA5-15R）

ステージ

傾斜ステージ、回転ステージ、高さステージ^※4

付属品

標準ルビースタイラス、標準ダイヤモンドスタイラス、原子間力プローブ（以上、UA3P-300は各１個、UA3P-4／5は各2個）、スタイラス交換用治具、基準球、プリンター

消耗品

安定化HeNeレーザ、半導体レーザ、AFP、標準ルビースタイラス、標準ダイヤモンドスタイラス、Z軸バネ、プリンターインク

備考

本体クラス１　レーザ製品、内蔵レーザはクラス3R（2.5mW）