E650 | ドライエッチング装置 | 商品情報 | パナソニックファクトリーソリューションズ株式会社

E650

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コンパクト構成
コンパクトボディーにエッチング、アッシングチャンバーを搭載し、あらゆるメタルエッチに対応します。

静電チャック電極搭載（オプション）
エッチング室に双極型静電チャツク電極を搭載し、デバイスの歩留り向上を実現しました。
チャンバー内の摺動部を削減し、パーティクルの発生を防いでいます。

省スペース
制御盤を本体に一体化し据付け面積3.6 m² 本体幅1 000 mmを達成したコンパクトマシン

高信頼メカニズム
ウエハ搬送は万一の停電やイレギュラー操作にも誤動作しにくいオールカム駆動のシンクロナイズド・トランスファ・メカニズムを採用。