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| マルチゼネレーションモジュール（MGM）システム パナソニックが一貫して採用してきた、電極ユニットの交換により多世代・多品種に対応するドライエッチングシステムです。 |
| 省スペース 制御盤を本体に一体化し据付け面積3.6 m2 本体幅1 000 mmを達成したコンパクトマシン |
| 高信頼メカニズム ウエハ搬送は万一の停電やイレギュラー操作にも誤動作しにくいオールカム駆動のシンクロナイズド・トランスファ・メカニズムを採用。 |
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