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ドライエッチング装置
ドライエッチングの基礎と応用：装置の構成
ドライエッチングの基礎と応用 原理 装置の構成 要素技術 材料・デバイス別SEM写真 プラズマ源について

 

参考文献
「ドライエッチングの原理」の中で、ある程度装置の簡単な説明をしましたが、ここでもう少し詳しく述べます。
　図-１３に一般的なドライエッチング装置の断面図を示します。図-１４には装置各部分の写真を掲載しています。


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