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マイクロエレクトロニクス実装プラズマクリーナー

PSX307

特長
追加情報
極薄金メッキが使える理由
格安の極薄金メッキでは、ダイボンディングキュアの熱処理により、表面にニッケル化合物が形成されます。
このニッケル化合物は、ワイヤーボンディング性を阻害するために、従来薄い金メッキはワイヤーボンディングに不向きとされてきました。
PSX307では、アルゴンプラズマ処理によりニッケル化合物を除去し、極薄の金メッキに安定したワイヤーボンディングを行なうことが可能です。
酸素プラズマによる表面改質
酸素ラジカルを用いた表面改質により、モールド樹脂密着性、アンダーフィル濡れ性改善が可能です。【オプション】
搬送系オプション
M type
Mタイプ搬送系とローダー/アンローダーのオプション付きです。		 M type S type
Sタイプ搬送系とローダー/アンローダーのオプション付きです。		 S type
仕様
機種名 PSX307
品番 NM-EFP1A
クリーニング方式 高周波平行平板逆スパッタ方式
放電用ガス ※1 アルゴンガス [ オプション： 酸素 ]
基板寸法（mm） L 50 x W 20 to L 250 x W 75※2
（Sタイプ搬送系とローダー/アンローダーのオプション付き）
L 50 x W 20 to L 330 x W 120
（Mタイプ搬送系とローダー/アンローダーのオプション付き）
基板厚み（mm） 0.5 〜 2.0
設備寸法（mm）/質量 ※3 W 930 x D 1 100 x H 1 450 / 555 kg
W 1 764 x D 1 100 x H 1 450 / 850 kg
（Sタイプ搬送系とローダー/アンローダーのオプション付き）
W 1 764 x D 1 100 x H 1 450 / 725 kg
（Mタイプ搬送系とローダー/アンローダーのオプション付き）
電源 ※3 単相 AC 200 V、 2.00 kVA [ ピーク時： 5.00 kVA ]
空圧源 0.49 MPa以上、 6.5 L / min [ A. N. R. ]
※1 : 放電用ガスにオプションの酸素ガスを選択した場合、別途排気希釈用の窒素ガスも必要です。
※2 : W 70.1 mm 〜 W 75 mmはチャンバー内電極が別途必要です。
※3 : 設備寸法の許容範囲は、±5mmです。タッチパネル、状況表示灯を除きます。質量は構成により異なります。
※4 : 単相 208 / 220 / 230 / 240 Vにも対応しています。
※詳細は、仕様説明書を参照願います。