| 機種名 |
FCX501 |
FCX501-L |
| 品番 |
KXF-D07D |
NM-EFF1A |
| 接合方式 |
超音波接合方式 |
| ボンディングタクト |
0.7 s/ダイ
（S・Mタイプ、50 N荷重ヘッド仕様時、但し接合時間含まず） |
0.7 s/ダイ
（50 N荷重ヘッド仕様、MAX 101.6 mm
基板設定時、但し接合時間含まず） |
| ボンディング精度 |
±10 μm （3σ） |
| 基板寸法（mm） |
Sタイプ、自動搬送・ローダー/アンローダー付
L 50 × W 30 〜 L 101.6 × W 101.6
Mタイプ、自動搬送・ローダー/アンローダー付
L 50 × W 30 〜 L 200 × W 101.6
LMタイプ、手差し供給
L 50 × W 30 〜 L 152.4 × W 152.4 |
L 50 × W 30 〜 L 203.2 × W 203.2
（Lタイプ、自動搬送・ローダー/アンローダー付） |
| ダイ寸法（mm） |
L 0.3 × W 0.3 〜 L 3.0 × W 3.0 （オプション : 最大L 10 × W 10） |
| ダイ供給形態 |
トレイまたはウエハー（最大8型）、オプション：オートチェンジャー・2連チェンジャー |
| ボンディング荷重 |
1 N 〜 50 N（オプション：最大90 N） |
| 基板加熱方式 |
コンスタントヒート方式
（タイプにより設定最大200 ℃、300 ℃、400 ℃） |
コンスタントヒート方式
（設定最大300 ℃） |
| 超音波ツール加熱方式 |
コンスタントヒート方式（設定最大200 ℃） |
| 設備寸法（mm）／質量 |
Sタイプ、自動搬送・ローダー/アンローダー付
W 1 000 × D 1 050 × H 1 430 ／ 1 300 kg
Mタイプ、自動搬送・ローダー/アンローダー付
W 1 720 × D 1 050 × H 1 430 ／ 1 400 kg
LMタイプ、手差し供給
W 1 000 × D 1 175 × H 1 430 ／ 1 300 kg |
W 1 765 × D 1 350 × H 1 430 ／ 1 700 kg
（Lタイプ、自動搬送・ローダー/アンローダー付） |
| 電源 |
三相 AC 200 V ±10 V、 AC 208 V ±10 V (50Hz/60Hz) 、 AC 220 V ±10 V (60Hz) 、3 kVA |
| 空圧源 |
0.45 MPa 以上、 150 L/min（A.N.R.） |
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