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DMX401

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マルチチップ搭載機能
スタックダイ、マルチチップパッケージの1パス生産を実現
ボンディングノズルオートチェンジャー
自動生産途中のワークパレット交換
ワークパレット供給

機種名	DMX401
品番	NM-EFD1A
生産性 ^※1	10 000 CPH (dry cycle)
ボンディング精度 ^※2	XY ± 25 μm, θ ± 0.5°（3σ）
基板寸法（mm）	L 100 × W 25 ～ L 270 × W 105
ダイ寸法（mm）	1 × 1 ～ 25.4 × 25.4
ダイ品種数	8品種
供給形態	ワークパレット供給（プリエキスパンドウエハー＆ワッフルトレイ）, Max.300 mm ウエハー
ノズル搭載数	Max.24 ノズル
電源	三相 AC 200 V ±10 V、 4 kVA
空圧源	0.4 MPa以上、 30 L/min（A.N.R.）
設備寸法（mm）	W 2 325 × D 2 150 × H 1 430
質量	2 300 kg

※1 生産性はシングルボンダーとして使用時の能力です。ワーク条件により変わります。
※2 ボンディング精度は、ワーク条件により変わります。詳細は仕様書を参照願います。