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ダイボンダー

DAX401
特長
高生産性を支える新技術
協調動作で、待ち時間を無くした3ビーム構造
CM402流用の世界初マルチ 8ノズルダイボンダー
新開発倍速エポキシ樹脂描画システム
仕様
機種名 DAX401
品番 KXF-401D
生産性 10 000 CPH (dry cycle)
ボンディング精度 XY ± 25 μm, θ ± 0.5°（3σ）
基板寸法（mm） L 100 × W 25 〜 L 270 × W 105
ダイ寸法（mm） 1 × 1 〜 25.4 × 25.4
（0.25 × 0.25 〜 25.4 × 25.4 ［オプション］）
供給形態 Max.300 mm ウエハー
電源 三相 AC 200 V ±10 V、 4 kVA
空圧源 0.4 MPa以上, 30 L/min（A.N.R.）
設備寸法（mm） W 2 325 × D 2 150 × H 1 430
質量 2 300 kg
※生産性および精度などの値は、条件により多少異なる事が有ります。
※詳細は、仕様説明書を参照願います。