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| MINAS A4T シリーズ 高速・高精度の圧力制御を簡単に |
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| 用途例 |
・半導体製造装置 |
・工作機械 |
・プレス機 |
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・加工機 |
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圧力センサから直接アンプにフィードバックできるので高速、高精度な圧力フルクローズ制御が可能です。I/O指令のみでサーチ、加圧、保圧復帰が可能なのでプログラミングも簡単です。
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ボタンをクリックすると動画が再生されます。 |
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PANATERM(R)表示画面。
センサとアンプが直結しているので、指令信号とフィードバック信号とのズレを抑制し、安定した動作が得られます。
※ ボタンをクリックすると動画が再生されます。 |
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センサとアンプ直結のため保圧に優れ、外乱が加わっても安定した圧力動作を保持します。
※ ボタンをクリックすると動画が再生されます。 |
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